半導(dǎo)體超純水設(shè)備施工的技術(shù)要求
【純水設(shè)備http://footdisc.com.cn】要想超純水設(shè)備能夠更好的使用,對于超純水設(shè)備的施工很重要,超純水設(shè)備部分施工難度最大,其主要包括三個部分:設(shè)備的搬入及安裝、共用管架的制作安裝以及管道的安裝。
超純水設(shè)備的搬入一定要注意編制詳細(xì)的設(shè)備吊裝方案,特別是對于超重、超大、易損設(shè)備,千萬不可以野蠻冒險(xiǎn)施工,那么超純水設(shè)備的施工有哪些技術(shù)要求呢?
共架與土建結(jié)構(gòu)連接處一定要堅(jiān)固,最好采用預(yù)埋鐵板。若因種種原因不能預(yù)埋,則應(yīng)用化學(xué)鉚栓固定在梁上,不應(yīng)使用一般的簡易膨脹螺栓。切不可用鐵板和簡易膨脹螺栓固定在樓板上。
整段管架一定要保持水平,以免管道與共架接觸部位由于應(yīng)力不均勻引起管道彎曲破損。
水站的管道施工除CDA、氮?dú)饧盁峤粨Q器用的蒸汽或冷熱水管道可以按系統(tǒng)進(jìn)行施工外,其他站內(nèi)管道施工可分為兩大部分,即共架管道施工和超純水設(shè)備周邊配管施工。
開工初期兩部分可以同時進(jìn)行施工。當(dāng)共架直管段與超純水設(shè)備本體配管完成之后,應(yīng)該從設(shè)備周邊管道向共架管道進(jìn)行連接配置,最終與共架管道相連形成封閉的管路系統(tǒng)。
超純水系統(tǒng)管道施工與其他一般動力管道施工有很大區(qū)別,它除了要保證管道系統(tǒng)的密閉性外,還有更加重要的一點(diǎn),就是要在施工過程中一定要保證管道的潔凈。
注意超純水設(shè)備在現(xiàn)場施工時,施工區(qū)域要相對干凈(不得有很大的灰塵)。粘接施工時禁止在地面上進(jìn)行,應(yīng)在加工平臺上進(jìn)行粘接操作。施工時一定要戴上專用潔凈一次性手套,施工過程中禁止徒手接觸管道的內(nèi)壁(因?yàn)槭稚系挠椭吃诠軆?nèi)壁很難沖洗干凈)。管道在插入時使用緊線器,并劃線以確認(rèn)插入的深度是否足夠。法蘭間密封材料應(yīng)用PTFE(聚四氟乙烯)。堆放場所需要墊上彩條布或塑料薄膜對管道進(jìn)行保護(hù)。
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